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坩堝下降長(zhǎng)晶爐
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本設(shè)備主要用于砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物晶體生長(zhǎng)。設(shè)備由機(jī)架、安瓿支撐機(jī)構(gòu)、加熱器和控制系統(tǒng)組成,能夠?qū)崿F(xiàn)安瓿移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)的精確控制。
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