產(chǎn)品展示
LPCVD立式爐管設(shè)備
關(guān)鍵詞：
產(chǎn)品
新聞
下載
半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一，主要用于POLY, D-POLY, SiN,LP-TEOS；立式LPCVD采用鐘罩式結(jié)構(gòu)，設(shè)計嵌套腔體機械手傳片組件、舟旋轉(zhuǎn)組件，具有占地面積小、成膜均勻性高、工藝穩(wěn)定性高等優(yōu)點。
關(guān)鍵詞：
怎么才能選擇一款適合您的？
讓我們協(xié)助您！
我們的專家盡快與您聯(lián)系，滿足您更多需求。
最新產(chǎn)品